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NRE800
产品特性:
基于PHS的负性化学放大电子束胶,高宽比大AR=5,耐刻蚀性高。
光源E-beam
胶厚200-350
旋涂曲线
JOEL,PR110nm线宽极限30nm
NBL,PR300nm线宽达到65nm
应用:
取代SAL601的电子束负胶。耐刻蚀性能好,高宽比>5。
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