LOR/PMGI-SF

产品特性:

双层胶lif+-off工艺中底层胶，配套上层胶可选择HTI751,S1800系列，AZ1500系列，高分辨率，可用于<0.25um Lift-off工艺，粘附性好，良好的耐热稳定性，易去胶，作为双层胶的底层胶使用，适合于碱性显影液显影。

光源G/H/I-line，DUV，193nm，E-beam

胶厚50nm-6µm

应用:

双层胶lift-off工艺实现金属和电介质图案的制作。