光刻胶涂覆完成后，对其进行一定温度的烘烤，以去除其中大部分溶剂，使其形成具有一定硬度的薄膜。前烘一般使用热板或者烘箱(热板占绝大多数)，将热板升温至前烘温度，将衬底放置其表面并计时，到时间后取下片子(带顶针的热板可自动计时并顶起衬底)。

       前烘温度和时间对后续的工艺结果有一定的影响，以一般正胶为例，如果烘烤过度，会导致需要的曝光剂量加大，如烘烤不足，会让未曝光区域更容易溶于显影液，降低对比度。