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SU-8干膜

 

产品特性

三明治结构,上下两层是被剥离的聚酯薄膜保护层(PET),中间层是阳离子固化改性环氧树脂光刻胶。

操作简便,无需去边工艺,厚度均匀性好,深宽比>5:1,粗糙度小耐腐蚀,厚度范围5-1000μm,多种厚度选择。

光源:i-Line

 
     
  Proerties of CURED SUEXILM  
   
  旋涂曲线  
     
 
应用:

晶圆级封装和MEMS工艺

 
     
  40μm ADEX  
   
     
   
  滚轮贴膜机  
     
 
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