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HSQ

 

产品性能

基于有机硅树脂的电子束负性光刻胶,高分辨率,耐刻蚀,垂直性好。

光源:E-beam,X-ray

膜厚:30-950nm

 
     
   
  工艺参数  
     
 

注:用后立即密封保存,决不能分瓶使用。

 
     
 

 

 
 
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