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SU-8 GM10xx系列

 

产品特性:

高深宽比,光学透明,垂直性好。

厚度范围0.1-200μm,光源g/h/i-Line

 
     
  GM1075 spin-speed curve  
   
  旋涂曲线(举例)  
     
   
     
 

应用:

微细加工的机械结构(MEMS)和其他的微型系统。

例如:传感器、微流体元件、电子线圈、喷墨打印机喷嘴、多芯片模块、制动器、液晶柔性连接臂、用于塑料的模具、用于热压成型的邮票以及电镀技术。

 
     
 

 

 
 
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