SU-8 microchem系列

产品特性

大高宽比，透明度高，垂直性好。

光源：Near UV(350-400nm)，推荐i-lin，也可用于E-beam，X-ray

胶厚：0.5-650μm

应用：适用于MEMS工艺，钝化层，微流控以及光电子器件。