光刻胶技术资料上给出的曝光剂量是一个参考值，以mJ/cm2为单位，并且往往是以单色光波长为标准的。例如xxxx胶，曝光剂量为E0=xxxmJ/cm2@xxxnm，是指当光源的波长为xxxnm时，曝光剂量为xxxmJ/cm2。

       不同的光刻机，采用不同的光源，会有不同波段的光线输出，并具有不同的光强，以mW/cm2为单位。接触式光刻机常见的光源有汞灯光源和LED光源，汞灯光源滤色后-般保留365nm（i线）、405nm（h线）、436nm（g线）波长的光,

       而LED光源往往是单色。在测量曝光设备光强时，单色光源得到的数值被认为是准确的，而多波长光源，需要根据光谱能量分布来推算总光强值。同时也要考虑到光刻胶对不同波长光线的灵敏度差异，宽谱敏感光刻胶和单色敏感光刻胶的曝光时间计算差别很大。

我们这里给出两个近似公式：

单色敏感光刻胶

曝光时间=曝光剂量/曝光光强@某曝光波长

宽谱敏感光刻胶

曝光时间=曝光剂量/(曝光光强@某曝光波长*k)对于汞灯光源的光刻机来说，我们通常把k取2.5。