光刻胶显影完成后的烘烤，可以进一步蒸发残留的溶剂和其他可挥发有机物，使光致抗蚀剂具备更好的抗刻蚀性和抗离子注入性。

       当坚膜温度过高时，会导致光刻胶达到Tg(玻璃化温度)而熔化，使得光刻胶形貌发生严重改变，导致光刻失效。也有利用这一特性让光刻胶形成特殊的形状，以用于制造特殊微结构与器件，例如微透镜阵列。